日本信越化學(xué)工業(yè)公司于2015年4月9日宣布，為了擴(kuò)大光刻膠相關(guān)業(yè)務(wù)，將在臺(tái)灣新設(shè)工廠。該公司已向臺(tái)灣相關(guān)部門提出了施工許可申請(qǐng)，將在獲得許可后立即動(dòng)工。工期約為1年，預(yù)計(jì)投資金額為130億日元左右。

      1991年，信越化學(xué)以開創(chuàng)新業(yè)務(wù)為目的，成立了由董事長(zhǎng)金川千尋（當(dāng)時(shí)是社長(zhǎng)）擔(dān)任委員長(zhǎng)的“Z委員會(huì)”。作為課題之一，該委員會(huì)一直致力于光刻膠的研發(fā)。據(jù)介紹，當(dāng)時(shí)的曝光工序主要采用g線和i線等高壓汞燈光譜線作為光源，不過在新一代微細(xì)化工藝中，KrF準(zhǔn)分子激光作為新型光源備受期待。

      較晚加入光刻膠行業(yè)的信越化學(xué)，一開始就投身于難度較高的KrF準(zhǔn)分子激光用光刻膠的開發(fā)。該公司利用長(zhǎng)年積累的合成技術(shù)，成功地開發(fā)出了客戶要求的高靈敏度產(chǎn)品，并從1997年開始在日本新潟縣的直江津工廠生產(chǎn)。

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